Компания Crossbow, специализирующаяся на разработке различных электронных устройств, выпустила систему навигации NAV420, которая позволяет управлять военной техникой на расстоянии. При этом блок навигации можно подключить к самолету, кораблю, боевой машине или танку. NAV420 также обеспечивает связь с GPS, выдает точные координаты, скорость, и высоту той машины, на которой установлен.

Блок защищен от вибрации, герметичен, и может работать в различных погодных условиях. Его уже используют в управлении беспилотными самолетами Global Hawk, в новых машинах типа Hummer, управляемых дистанционно, а также в опытных образцах морских разведывательных судов. Система NAV420 настолько гибкая, что ее используют летчики авианосцев в качестве автопилота. Особенно много хороших отзывов о работе навигатора в плохую погоду и шторм, когда пилоту трудно посадить самолет на авианосец.

Математик Алекс Райан из исследовательского отделения министерства обороны США разработал алгоритмы управления группой боевых единиц, используя при этом природный аналог - улей пчел. Как утверждает Алекс, коллективные насекомые умеют вести войну со своими врагами несколькими способами, и, при этом, каждая единица улья знает, что ей надо делать. Алекс планирует испытать свой алгоритм на улье летающих беспилотных дронов, которые стоят гораздо меньше, чем Global Hawk. Далее, математик попытался смоделировать самовоспроизводящийся управляемый улей из наномашин, который будет способен выполнять ряд операций. И тут Алекса постигла неудача - полученная система вела себя слишком хаотично, чтобы ею можно было управлять. Как он говорит, смоделированная мной система репликаторов через время погружается в полный хаос. Ученому удалось создать алгоритм выполнения некоторых военных операций ульем однотипных механизмов, но для его проверки нужны дополнительные исследования. Во всяком случае, репликативного оружия военные пока создавать не собираются из-за его неконтролируемости.

Высокая точность системы навигации и быстрота определения скорости транспортного средства, на котором она установлена, зависит от встроенных МЭМС-сенсоров и МЭМС-акселерометров. Эти сенсоры изготовлены с помощью фотонанолитографии и последующей микросборки.

Самолет Global Hawk уже былв небе над полями сражения в Ираке. С его помощью у командиров была информация в реальном времени о расположении военных единиц противника. Благодаря системе навигации самолет мог вести разведку с больших высот, что очень помогало при возникновении на поверхности пылевых бурь, которые были в первые дни войны в Ираке.

Другие быстродействующие НЭМС-акселерометры будут использоваться в военной экипировке будущего поколения для того, чтобы детектировать удар пули о бронежилет настолько быстро, чтобы успел включиться внешний экзоскелет костюма.

Также МЭМС-сенсоры и системы навигации на их основе будут использоваться в снарядах, ракетах и торпедах нового поколения. Так в 2005 году начинается выпуск 155 мм управляемого снаряда Excalibur и управляемого снаряда XM395 для 120 мм мортир. Снаряд XM395 оборудован лазерным искателем, который определяет расстояние до цели и координирует курс снаряда по данным, полученным системой навигации с GPS. Также в XM395 используются микроактюаторы, с помощью которых раскрываются стабилизаторы снаряда в процессе полета. Все системы навигации работают благодаря инерционным измерительным устройствам на МЭМС основе. Система из трех гироскопов и трех МЭМС-акселерометров, связанная с GPS, представляет собой навигационный блок.

Также МЭМС-сенсоры используются в системе мониторинга и охраны заданной территории от вторжения в любых погодных условиях. Ранее разработанная система дистанционных сенсоров Improved Remote Battlefield Sensor System (IREMBASS) была дорогостоящей и крупногабаритной. Компания L-3 Communications Inc. разработала REMBASS II, которая использует МЭМС для сокращения размеров сенсоров.

Также, исследованиями в области усовершенствованных систем навигации занимается американская военная исследовательская организация DARPA.