1959 — День рождения нанотехнологий . Профессор Калифорнийского технологического института Ричард Фейнман (нобелевский лауреат 1965 г.) в своей лекции Внизу полным-полно места: приглашение в новый мир физики отметил, что атомы можно использовать в качестве строительных элементов.

1966 — Рассел Янг, американский физик работавший в национальном бюро стандартов, придумал пьезодвигатель. Сегодня он применяется в сканирующих туннельных микроскопах и для позиционирования наноинструментов.

1971 — Рассел Янг выдвинул идею прибора Topografiner — прообраз зондового микроскопа. Для ее реализации требовались качественно новые подходы, не разрушающие исследуемое вещество, поэтому вскоре работы были прекращены.

1974 — Норио Танигучи, физик из Токийского университета, предложил термина нанотехнологии (процесс разделения, сборки и изменения материалов путем воздействия на них одним атомом или молекулой). Термин быстро завоевал популярность в научных кругах.

1982 — Герд Бинниг и Генрих Рорер, нобелевские лауреаты 1986 г., в Цюрихском исследовательском центре IBM создали сканирующий туннельный микроскоп, позволяющий строить трехмерную картину расположения атомов на поверхности проводящих материалов.

1985 — Ричард Смолли, Роберт Кёрл и Гарольд Крото, нобелевские лауреаты по химии 1996 г., открыли новую форму углерода — фуллерен. Молекулы фуллерена состоят их 60 атомов углерода, расположенных в форме сферы. Эти ученые также впервые сумели измерить объект размером 1 нм.

1986 — Герд Биннинг из IBM разработал сканирующий атомно-силовой микроскоп, позволивший наконец визуализировать атомы любых материалов (не только проводящих), а также манипулировать ими.

1986 — Эрик Дрекслер, американский ученый, работавший в лаборатории искусственного интеллекта Массачусетского института, написал книгу Машины созидания , в которой выдвинул концепцию универсальных молекулярных роботов, работающих по заданной программе и собирающих все, что угодно из подручных молекул. Ученый довольно точно предсказал немало грядущих достижений нанотехнологий. Некоторые из них уже сбылись, но другие рассматриваются большинством нанотехнологов как беспочвенные фантазии.

1991 — Суммио Идзима, японский профессор из компании NEC, использовал фуллерены для создания углеродных трубок (или нанотрубок) диаметром 0,8 нм. На их основе теоретически могут быть созданы материалы в 100 раз прочнее стали. Также они могут служить проводниками для наноэлектроники.

2000 — Правительство США приняло программу Национальная нанотехнологическая инициатива (NNI). В бюджете США на нее выделено $270 млн с расчетом, что коммерческие компании вложат на порядок больше.

2002 — Сиз Деккер, голландский профессор, соединил углеродную нанотрубку с ДНК, получив единый наномеханизм.

2006 — Мировой объем инвестиций в нанотехнологии достиг $12 млрд.

2007 — корпорация Роснано , созданная в России для поддержки перспективных нанотехнологических проектов, получила из бюджета свыше 130 млрд руб.