Сейчас полупроводниковые приборы для микросхем создают главным образом методами оптической литографии, но задачи миниатюризации требуют получать на поверхности изображения, состоящие всего из нескольких атомов. Это уже иная область науки – атомная оптика, а точнее атомная нанолитография. Она стала возможной, когда ученые научились управлять движением атомов при их приближении к поверхности. Изображения наносятся «атомным пером», в качестве которого может выступать зонд атомного силового микроскопа, или с помощью атомной камеры-обскуры с маской из крошечных отверстий, сквозь которые проникает пучок атомов. Последний метод изобрели сотрудники Института спектроскопии РАН; под руководством Виктора Балыкина им удалось получить структуры размером 30 нм. В своем обзоре в журнале «Российские нанотехнологии» № 7-8 2009 исследователи подробно рассказывают о методах атомной нанолитографии и перспективах их применения.

Атомная нанолитография – важное практическое направление не только для электронной промышленности. «Например, мы можем создавать структуры в виде так называемых наноантенн, которые позволяют эффективно обнаруживать и исследовать единичные молекулы, в том числе и биомолекулы. Наноструктуры на поверхности – основа биосенсеров нового типа», - говорит Виктор Балыкин.